產(chǎn)地 | 美國(guó) |
類型 | 氣體流量傳感器 |
輸出信號(hào) | 模擬型 |
制造商 | SIARGO |
制作工藝 | 薄膜 |
種類 | 流量 |
執(zhí)行質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) | 美標(biāo) |
貿(mào)易屬性 | 外貿(mào)+內(nèi)貿(mào) |
材料物理性質(zhì) | 半導(dǎo)體 |
材料晶體結(jié)構(gòu) | 單晶 |
品牌 | SIARGO |
型號(hào) | FS4001-30-C-R |
系列 | FS4001 |
質(zhì)量認(rèn)證 | ROSS |
氣體流量傳感器(Gas Flow Sensors)
FS4001系列
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
FS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出,通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點(diǎn)
傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快
技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 數(shù)值 | 單位 |
流量范圍 | 30,100,200,500,1000 | sccm |
量程比 | 100:1 | |
精度 | 士(1.5+0.5FS) | % |
重復(fù)性 | 0.25 | % |
零點(diǎn)輸出漂移 | ±30 | mV |
輸出漂移 | ±0.12 | %/°C |
響應(yīng)時(shí)間 | 65(默認(rèn),可設(shè)置4,8,16,33,131) | ms |
工作電源 | 8-24VDC,50mA | |
輸出方式 | 線性:RS232/PC/模擬電壓0.5~4.5VDC | |
最大流量壓損 | 350 | Pa |
最大工作壓力 | ≤0.5 | MPa |
工作溫度 | -10~+55 | ℃ |
儲(chǔ)存溫度 | -20~+65 | ℃ |
工作濕度 | <95%RH(無結(jié)冰、無凝露) | |
機(jī)械接口 | 可拆式軟管接頭 | |
校準(zhǔn)方式 | 空氣(20℃,101.325kPa) | |
重量 | 15 | G |
最大允許流量 | 3000 | sccm |
最大允許流量變化 | 500 | sccm/s |
以上參數(shù)在為20℃,101.325kPa下測(cè)得
產(chǎn)品選型
FS4001-( 1)-( 2 )-( 3 )
括號(hào)(1)選型:最大流量 (可選30,100,200,500,1000)
括號(hào)(2)選型:輸出方式(C-RS232;V-模擬電壓;E-PC;可選V,CV和EV)
括號(hào)(3)選型:氣體介質(zhì)(A-空氣;C-二氧化碳:E-復(fù)氣;H-復(fù)氣;N-氮?dú)?;O- 氧氣;R-氫氣;)
最大流量的單位為sccm,比如100代表最大流量為100sccm;
對(duì)二氧化碳,最大流量可選30,100,200,500和750,不可選1000
傳感器的標(biāo)準(zhǔn)輸出為模擬電壓,RS232和IC為選項(xiàng)。
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