材料 | 混合物 |
產地 | 美國 |
類型 | 氣體流量傳感器 |
輸出信號 | 模擬型 |
制造商 | SIARGO |
制作工藝 | 薄膜 |
種類 | 流量 |
執(zhí)行質量標準 | 美標 |
貿易屬性 | 外貿+內貿 |
材料物理性質 | 半導體 |
材料晶體結構 | 單晶 |
品牌 | SIARGO |
型號 | FS4001-200-C-N |
系列 | FS4001 |
質量認證 | ROSS |
氣體流量傳感器(Gas Flow Sensors)
FS4001系列
產品簡介
FS4001系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出,通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。
產品特點
傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量
在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
傳感器的零點穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、優(yōu)良的重復性
低功耗、低壓損
響應速度快
技術參數
參數 | 數值 | 單位 |
流量范圍 | 30,100,200,500,1000 | sccm |
量程比 | 100:1 | |
精度 | 士(1.5+0.5FS) | % |
重復性 | 0.25 | % |
零點輸出漂移 | ±30 | mV |
輸出漂移 | ±0.12 | %/°C |
響應時間 | 65(默認,可設置4,8,16,33,131) | ms |
工作電源 | 8-24VDC,50mA | |
輸出方式 | 線性:RS232/PC/模擬電壓0.5~4.5VDC | |
最大流量壓損 | 350 | Pa |
最大工作壓力 | ≤0.5 | MPa |
工作溫度 | -10~+55 | ℃ |
儲存溫度 | -20~+65 | ℃ |
工作濕度 | <95%RH(無結冰、無凝露) | |
機械接口 | 可拆式軟管接頭 | |
校準方式 | 空氣(20℃,101.325kPa) | |
重量 | 15 | G |
最大允許流量 | 3000 | sccm |
最大允許流量變化 | 500 | sccm/s |
以上參數在為20℃,101.325kPa下測得
產品選型
FS4001-( 1)-( 2 )-( 3 )
括號(1)選型:最大流量 (可選30,100,200,500,1000)
括號(2)選型:輸出方式(C-RS232;V-模擬電壓;E-PC;可選V,CV和EV)
括號(3)選型:氣體介質(A-空氣;C-二氧化碳:E-復氣;H-復氣;N-氮氣;O- 氧氣;R-氫氣;)
最大流量的單位為sccm,比如100代表最大流量為100sccm;
對二氧化碳,最大流量可選30,100,200,500和750,不可選1000
傳感器的標準輸出為模擬電壓,RS232和IC為選項。
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