名稱

內(nèi)容

測量

范圍

Z 軸（垂直）

±80μm/±160 μm（增強型）

X 軸（水平）

20mm

分辨率

Z 軸

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

0．08μm/±160μm

測量項目

參數(shù)

Ra,Rz,Rq,Rt，Rp,Rv,R3z,R3y,Rz(JIS),Rs,Rsk,Rsm,Rku,Rmr; Ry;Rmax，

Rc，RPc，Rk，Rpk，Rvk，Mr1，Mr2

標準

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90 錐角，5μm 針尖半徑

測力

<4mN

導頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑 40mm

滑行速度

lr=0.25, Vt=0.135mm/s

lr=0.8, Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5, Vt=1mm/s

返回 Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于 6%

電源

內(nèi)置 3300mAh 鋰離子充電電池，DC5V 充電器充電

外形尺寸

主機：64*53*160mm 驅(qū)動器：23*27*115mm

重量（主機）

約 380g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃~40℃

濕度：<90% RH

儲存運輸環(huán)境

溫度：- 40℃~60℃

濕度：<90% RH