測量參數(shù)（μm）

Ra、Rz、Rq、Rt

測量范圍（μm）

Ra、 Rq： 0.05 um ~ 20.0 um             Rz、 Rt： 0.1 um~ 50 um

取樣長度（mm）

0.25 ， 0.80 ， 2.50

評定長度（mm）

1.25 ， 4.0 ， 5.0

行程長度（mm）

6

示值精度

0.01

示值誤差

±（7-10）%

示值變動性

＜12%

傳感器觸針針尖圓弧半徑及角度

針尖圓弧半徑：10 μm±1 μm

傳感器觸針靜測力及其變化率

觸針靜測力：≤ 0.016N                測力變化率：≤ 800N/m

傳感器導頭壓力

≤ 0.5N

電池

3.7V鋰離子電池

外形尺寸

106 mm×70 mm×24 mm

重量

200g

工作環(huán)境條件

溫 度：  -20℃～60℃       相對濕度：<  90%     周圍無振動、無腐蝕性介質(zhì)