環(huán)境溫度 | 5°C 至 50°C |
控制范圍 | 根據型號選擇 |
類型 | 氣體壓力控制器 |
品牌 | HORIBA |
型號 | UR-Z700 |
HORIBA UR-Z700 氣體壓力控制器
數(shù)字式自動壓力調節(jié)器
UR-Z702 系列 數(shù)字式 / 模擬式通訊模式
UR-Z704 系列 DeviceNet? 現(xiàn)場總線通訊模式
應用;
① 應用于智能系統(tǒng)的發(fā)展
被一個大型機組所分隔開,比如金屬有機氣相 沉積(MOCVD)或者液晶濺射化學氣相沉積,同時又被質量 流量控制器所控制時,該管路氣體流量值的突然改變**會 影響到其他管路。然而,即便在上述情形下,UR 系列的產 品仍可以快速、調整管道中的氣體壓力,實現(xiàn)穩(wěn)定 控制,并且保證多個質量流量控制器之間互不干擾。
② 應用于液體氣化系統(tǒng)的發(fā)展
為 MOCVD (或者High-k CVD) 和其他制程中,可以控制穩(wěn) 定的源端壓力。(主要應用于大氣壓條件下)
規(guī)格
尺寸

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