FS1015系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。 產(chǎn)品特點(diǎn)： 高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理可測(cè)量低至8mm/sec的流體流量 無(wú)旁通結(jié)構(gòu)，低壓損 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高 經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用 自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程的開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)提高了測(cè)量精度主機(jī)設(shè)備上的用戶界面可輕松實(shí)現(xiàn)線性輸出

技術(shù)參數(shù)： 產(chǎn)品 FS1015CL

單位 流量范圍 0~100 / 0~150 SLPM

量程比 100：1 精度±(1.5+0.2FS) % 重復(fù)性 0.25 % 零點(diǎn)輸出飄移±30 mV 輸出飄移 ±0.12 %/ ℃

響應(yīng)時(shí)間 8 ms

工作電壓 5±1% Vdc 輸出方式線性，

模擬電壓0.5~4.5Vdc

流量壓損 1300 Pa 工作壓力 0.2 MPa

 工作溫度 -10~+55 ℃

儲(chǔ)存溫度 -20~+65 ℃

工作濕度 <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)

電氣接口 5針插座AMP103956-4 機(jī)械接口 ISO-15mm

校準(zhǔn)方式 空氣，20℃，101.325kPa 重量 21.5