測(cè)量/評(píng)定: 基于Windows操作系統(tǒng)的MarSurf XR 20軟件具有德語、英語、法語、意大利語以及西班牙語等多種語言。
參數(shù)和輪廓: 超過65個(gè)R-輪廓、P輪廓、W輪廓和motifs參數(shù),帶公差監(jiān)測(cè)和統(tǒng)計(jì)功能。參數(shù)列表和特征曲線。 輪廓分辨率: 取決于傳感器型號(hào),為± 25 µm測(cè)量范圍內(nèi),**小分辨率可達(dá)76 nm。 測(cè)量范圍: ± 25 µm到± 2500 µm,取決于所用傳感器類型。 采樣長(zhǎng)度個(gè)數(shù)N: 1個(gè)到5個(gè),或1個(gè)到Nmax個(gè)在N x Lc模式中,Nmax=驅(qū)動(dòng)單元的**大測(cè)量長(zhǎng)度/Lc濾波設(shè)定) 濾波器類型: GS / 2RC / SF ISO 13565-1 /外形翻轉(zhuǎn)NEG/ARC-(弧形消除) -支持選擇其他特別的過濾器 取樣長(zhǎng)度 Lc: 可自由設(shè)定Lc,**大25 mm ,Lc = f(lt);0.025 mm / 0.08 mm / 0.25 mm / 0.8 mm / 2.5 mm / 8 mm以及短截止波長(zhǎng)Lc, 默認(rèn)取樣長(zhǎng)度值符合ISO 4288規(guī)定,取樣長(zhǎng)度取決于Lt和dx。 驅(qū)動(dòng)單元 PZK, GD 25, PGK 20, PGK 120, PRK (通過PAV 62) |