Formtracer(表面粗糙度/輪廓測量裝置)SV-C3100/SV-C4100

525系列—表面粗糙度/輪廓測量儀

特點(diǎn)

大幅提高的驅(qū)動速度(X軸:80mm/s,Z2軸立柱:20mm/s)進(jìn)一步減少了總的測量時(shí)間。

為了更長時(shí)間地保持直線度，三豐公司采用了抗老化且極耐磨的非常堅(jiān)固的陶瓷導(dǎo)軌；

驅(qū)動器(X軸)和立柱(Z2軸)均配備了高精度線形編碼器(其中Z2軸上為ABS型)。因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動測量、對較難定位部件的重復(fù)測量的重復(fù)精度得以提高。

表面粗糙度測量

直線度:±(0.05+0.001L)μm*專用于需要高精度測量的工件。

*S4型、H4型、W4型；L為驅(qū)動長度(mm)

符合JIS'82/'94/'01,ISO,ANSI,DIN,VDA等表面粗糙度的國際標(biāo)準(zhǔn)。

標(biāo)準(zhǔn)配置：高精度測頭(0.75mN/4mN測力)，分辨率高至0.0001μm。

自動測量

在與CNC機(jī)型配套使用的眾多外設(shè)選件的支持下，可實(shí)現(xiàn)自動測量。

輪廓驅(qū)動測量

X軸精度:±(0.8+0.01L)μm*Z1軸精度:±(0.8+I0.5HI/25)μm*專用于需要高精度測量的工件。

*SV-C4100S4型、H4型、W4型；L為驅(qū)動長度,H為測量高度(mm)

SV-C4100系列的輪廓驅(qū)動器配備了激光全息測微計(jì)測頭，Z1軸寬／窄范圍均能達(dá)到極高的精度和分辨率。

基本技術(shù)參數(shù):

基座尺寸(WxH):750x600mm或1000x450mm

基座材料:花崗巖

重量

主機(jī):140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4)140kg(S8),150kg(H8),220kg(W8)

控制器:14kg

遙控箱:0.9kg

電源:100–240VAC±10%,50/60Hz

能耗:400W(主機(jī))

輪廓測量技術(shù)參數(shù):

X軸

測量范圍:100mm或200mm

分辨率:0.05μm

檢測方法:反射型線性編碼器

驅(qū)動速度:80mm/s、外加手動

測量速度:0.02-5mm/s

移動方向:向前／向后

直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm

*以X軸為水平方向上

直線位移:±(1+0.01L)μm(SV-C3100S4,H4,W4)

精度(20°C時(shí))±(0.8+0.01L)μm(SV-C4100S4,H4,W4)±(1+0.02L)μm(SV-C3100S8,H8,W8)±(0.8+0.02L)μm(SV-C4100S8,H8,W8)*L為驅(qū)動長度(mm)

傾角范圍:±45°

Z2軸(立柱)

垂直移動:300mm或500mm

分辨率:1μm

檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器

驅(qū)動速度:0-20mm/s、外加手動

Z1軸(檢測器)

測量范圍:±25mm

分辨率:0.2μm(SV-C3100),0.05μm(SV-C4100)

檢測方法:線性編碼器(SV-C3100),

激光全息測微計(jì)(SV-C4100)

直線位移:±(2+I4HI/100)μm(SV-C3100)

精度(20°C時(shí))±(0.8+I0.5HI/25)μm(SV-C4100)*H:基于水平位置的測量高度(mm)

測針上／下運(yùn)作:弧形移動

測針方向:向上／向下

測力:30mN

跟蹤角度:向上:77°,向下:87°

(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測頭，依表面粗糙度而定)測針針尖尖端半徑:25μm、硬質(zhì)合金尖端

表面粗糙度測量的技術(shù)參數(shù)：

X1軸

測量范圍:100mm或200mm

分辨率:0.05μm

檢測方法:線性編碼器

驅(qū)動速度:80mm/s

移動方向:向后

直線度:(0.05+1.5L/1000)μm(S4,H4,W4型)

0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)

Z2軸(立柱)垂直移動:300mm或500mm

分辨率:1μm

檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器

驅(qū)動速度:0-20mm/s、外加手動

檢測器

范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用測頭選件)

檢測方法:無軌／有軌測量

測力:4mN或0.75mN(低測力型)

測針針尖:金剛石、90o/5μmR(60o/2μmR:低測力型)

導(dǎo)頭曲率半徑:40mm

檢測方法:差動電感式

性能參數(shù)：