測量范圍及精度 

Z軸測量范圍（縱方向） 

±400μm

X軸測量范圍（橫方向） 

50mm

傳感器上下移動范圍 

50mm

測定分辨率

0.00016μm/±4μm～0.016μm/±400μm

測量速度（X軸）

0.15～1.5mm/s（可選）

直線度精度(X軸)

0.3μm/50mm

傳感器

測針半徑

2μm

測針材質(zhì)

金剛石

測量力

0.75mN以下

測量及分析項目

對應規(guī)格

JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、

ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CNOMO規(guī)格

參數(shù)或計劃類型

Pt、Ra、Rq、Rz、Rzmax、Rp、Rt、R3z、RSm、Pc、Rk、

Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、VO、K、Rmr、R、Rx、AR、W、Wx、

AW、Wte等對應規(guī)格相關參數(shù)，(以上為JIS-2001參數(shù))

評價曲線

斷面曲線、粗糙度曲線、ISO13565特殊曲線、

粗糙度Motif曲線、波紋度Motif曲線、包絡波紋度曲線

濾波波紋度曲線、波紋度曲線

特征曲線

負荷曲線分析、振幅分布曲線

濾波類型

高斯、2RC、2RC（無相位補償）

截止波長

λc:0.08、0.25、0.8、2.5、5、8mm；

λs:0.25、0.8、2.5、8、25μm

評價長度

0.1～50mm（任意0.1mm單位）

顯示及操作

顯示屏

3.5英才彩色顯示，中文界面對應

操作界面

人性化設計，操作簡單方便，且功能豐富。

尺寸及質(zhì)量

電源

內(nèi)置充電電池（AC變壓器充電），充電時間3小時

耗電量

約300VA（充滿電后可以測量600次）

外形尺寸

Flex控制部：132(W)×58(D)×214(H)mm，攜帶方便

配件及其他

測針種類

測針與傳感器分離式，與臺式機測針通用，可選測針豐富。

數(shù)據(jù)導入導出或打印

數(shù)據(jù)可通過數(shù)據(jù)線或USB接口導出；內(nèi)置打印機